真空腔體加工檢漏的方法主要有三種，其中氦質(zhì)譜檢漏該技能是真空檢漏領(lǐng)域里不可少的一種技能，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在檢漏中得到了較多應用。
很多人問小編真空腔體加工檢漏的方法，小編就在這里介紹下，真空腔體加工檢漏主要有三種：氦質(zhì)譜檢漏，真空封泥檢測法，真空計檢漏法。下面就來詳細的介紹下這三種方法。
該檢漏方法是真空檢漏領(lǐng)域里不可少的一種技能，因檢漏效率高，操作簡單，儀器反應靈敏，精度高，不容易受到其他氣體干擾，在真空檢漏中得到了很多應用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。
由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規(guī)、收集器組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣等部分組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，在洛倫茲力的作用下偏轉(zhuǎn)，進而形成了圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測到。其中呢，噴氦法和吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏常用的兩種方法。
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